La serie LPX Pro ofrece longitudes de onda desde 193, 248, 308 y 351 nm con potencias de salida que llegan hasta los 90 W a 248 nm. EL LPF Pro expande el intervalo de longitud de onda hasta los 157 nm. Las características de alta energía por pulso, calidad del haz, alta potencia de pico y corta duracion del pulso hacen del LPX Pro y del LPF Pro candidatos ideales para aplicaciones como agujerado, PLD, LDP, LLO y limpieza.